● 인화성이 있는 유기용제(박리액, 아세톤, IPA, 시너등)를 사용하는 반도체 제조 장치의 고순도 약액 및 가스 이송 ● 정전기에 의한 노이즈를 없앨 전자기기 근접한 곳의 고순도 약액/가스이송